熱破壞技術(shù)是廢氣處理應用較為廣泛的方法，熱破壞技術(shù)可分為直接火焰燃燒和催化燃燒。

直接火焰燃燒是指將廢氣在氣流中就直接進行燃燒或者通過輔助燃料進行燃燒。一般情況下，廢氣濃度較低時，沒有輔助燃燒助燃是很難燃燒的。直接火焰燃燒廢氣處理在恰當溫度及時間下，熱處理效率可達 99%。

催化燃燒是指廢氣在氣流中直接加熱，使用催化劑加速廢氣中的有機物化學反應，這種廢氣處理方法相對于直接燃燒法來說，溫度更低以及保留時間更短，但廢氣中含有雜質(zhì)，容易引起催化劑中毒。用于凈化廢氣的催化劑常見的是金屬和金屬鹽，其中金屬又包含貴金屬和非貴金屬。市場上常見的金屬催化劑有 Pt、Pd，具有技術(shù)成熟 、催化活性高等特點，但價格昂貴，而且遇到鹵素有機物時容易發(fā)生氧化反應從而使催化劑失去效果。